Informations générales
Entité de rattachement
Le CEA est un acteur majeur de la recherche, au service des citoyens, de l'économie et de l'Etat.
Il apporte des solutions concrètes à leurs besoins dans quatre domaines principaux : transition énergétique, transition numérique, technologies pour la médecine du futur, défense et sécurité sur un socle de recherche fondamentale. Le CEA s'engage depuis plus de 75 ans au service de la souveraineté scientifique, technologique et industrielle de la France et de l'Europe pour un présent et un avenir mieux maîtrisés et plus sûrs.
Implanté au cœur des territoires équipés de très grandes infrastructures de recherche, le CEA dispose d'un large éventail de partenaires académiques et industriels en France, en Europe et à l'international.
Les 20 000 collaboratrices et collaborateurs du CEA partagent trois valeurs fondamentales :
• La conscience des responsabilités
• La coopération
• La curiosité
Référence
2024-33162
Description de l'unité
Laboratoire de dépôts de matériaux avancés
En nous rejoignant, vous contribuerez au développement de matériaux couches minces utilisés dans l'industrie française et européenne de demain.
Description du poste
Domaine
Sciences pour l'ingénieur
Contrat
Stage
Intitulé de l'offre
Fabrication à l'échelle atomique : Dépôt sélectif localisé (ASD) de TiN H/F
Sujet de stage
La fabrication de futurs dispositifs nanoélectroniques nécessite des techniques innovantes de patterning pour passer à des architectures 3D. En parallèle de l'approche conventionnelle de lithographie/gravure, le dépôt sélectif localisé ou Area Selective Deposition (ASD) par dépôt de couches atomiques (ALD) pourrait permettre de simplifier ces intégrations, comme par ex. dans le cas de mémoires 3D avec une électrode réalisée par ASD.
Durée du contrat (en mois)
6 mois
Description de l'offre
Rejoignez-nous en Stage !
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En tant que stagiaire au CEA, vous aurez l'opportunité de travailler au sein d'un environnement de recherche de renommée mondiale. Nos équipes sont composées d'experts passionnés et dédiés, offrant un cadre propice à l'apprentissage et à la collaboration. Vous aurez accès à des équipements de pointe et à des ressources de recherche de premier ordre pour mener à bien vos missions.
Description du poste :
L’objectif de ces travaux est d’étudier l’ASD de TiN déposé par ALD. Une approche consiste à fonctionnaliser la surface avec un inhibiteur de croissance. Les recherches récentes se tournent vers le développement d’inhibiteurs déposés par des techniques sous vide [1,2]. L’un des aspects novateurs de ce sujet est l’utilisation de couches inhibitrices à base de carbone amorphe [3] déposées par PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) pour le dépôt localisé de couches métalliques.
Ce stage de 6 mois se déroulera au CEA-LETI, dans le service de dépôt de matériaux avancés. L’étudiant aura accès aux plateformes de réalisation en salle blanche pour les dépôts de couches minces (a-CH PECVD, TiN ALD) et à la plateforme de nanocaractérisation. Des analyses de surface et caractérisations des couches minces (ellipsométrie, FTIR, angle de contact, AFM, XPS, Tof-SIMS) permettront d’identifier la meilleure sélectivité.
Pour aller plus loin:
[1] https://doi.org/10.1021/acs.chemmater.8b00017
[2] https://doi.org/10.1116/6.0002248
[3] https://doi.org/10.1021/acs.chemmater.0c00722
Mots clés :
Stage M2 6 mois ; Nanotechnologies ; Matériau couche mince; ALD, PECVD ; Sélectivité, ASD ; Nanocaractérisation
Moyens / Méthodes / Logiciels
Plateformes technologiques de réalisation et de nanocaractérisation
Profil du candidat
Qu’attendons-nous de vous ?
Vous préparez un diplôme de niveau Master2 ou école d'ingénieur en Matériaux / Microélectronique / Physique – Chimie
Vous êtes force de proposition et faites preuve d'esprit de synthèse, d'autonomie, de rigueur ainsi que d'esprit d'équipe.
Rejoignez-nous, venez développer vos compétences et en acquérir de nouvelles !
Localisation du poste
Site
Grenoble
Localisation du poste
France
Ville
Grenoble
Critères candidat
Langues
Anglais (Courant)
Diplôme préparé
Bac+5 - Master 2
Formation recommandée
Ecole d'ingénieur ou Master 2
Possibilité de poursuite en thèse
Non
Demandeur
Disponibilité du poste
03/02/2025